中國成功研發「奈米壓印」技術 無需 ASML 光刻機設備 生產成本省 90%
【自主研發 ㊙️】外媒報導,由於美國等西方國家嚴格限制深紫外光(DUV)及極紫外光(EUV)曝光機出口中國,中國半導體新創企業「青芯半導體」(Prinano)近日宣佈,已成功驗證利用「奈米壓印」(Nanoimprint Lithography, NIL)技術量產 8 吋矽基光子晶片(Photonic Chip)。該公司強調,此技術完全繞過了對荷蘭曝光機巨頭 ASML 生產設備的依賴,並能將晶片製造費用大幅削減至傳統 DUV 製程的十分之一左右。