中媒︰中芯逼近 2nm 不是夢 兩項全新專利 製程可達 2nm ~ 3nm

【2nm 不是夢 😱】中國媒體報道,近日中芯國際傳出重大突破,藉著「自對準四重圖案化(SAQP)」與「微影-蝕刻-微影-蝕刻(LELE)」的混合圖案化技術(Patterning Approach),試圖在後段製程(BEOL)中突破物理限制,以更小的線寬與更高的電晶體密度,實現 2nm ~ 3nm 先進製程晶片的量產。