據科技媒體《信息報》援引消息人士報導稱，一家總部位於上海的中國公司已開始限量生產沉浸式深紫外光刻機。這家公司計畫今年生產5套系統以供交付，預計到2027年生產約20台沉浸式深紫外光刻機。