傳中國國產浸潤式 DUV 光刻機量產 首批產能 5 台 但關鍵零件仍依賴日本

【中國半導體突破 😱】外媒報導,中國半導體技術取得突破性進展,上海一家國營企業已正式啟動國產浸潤式深紫外光刻機(Immersion DUV Lithography Machine)的量產作業。首批設備預計於今年內陸續交付予中芯國際(SMIC)、華虹半導體以及記憶體大廠長鑫存儲(CXMT),但首批產能只有 5 台,而且關鍵零組件仍依賴日本供應。