上海愛晟納生產自主沉浸式深紫外光刻機受關注 知情人士指仍需進一步測試

據路透社援引知情人士報導,中國已開始批量生產自主研發的沉浸式深紫外(DUV)光刻機——這是一項對先進芯片製造至關重要的技術;此舉標誌着中國在減少對外國技術依賴的進程中邁出了關鍵一步。