荷蘭公司ASML（阿斯麥）是全球最大的光刻機製造商，而光刻機是製造芯片的關鍵設備。ASML在45nm以下工藝製程的光刻機市場佔據了85%的份額，在EUV（極紫外光刻技術）光刻機領域則處於絕對壟斷地位，市場佔有率100%，是推進5nm/7nm製程節點的關鍵。

在2022年1月3日，ASML位於德國柏林的工廠內發生火災，大火在夜間被撲滅，其中部分設施受損。幸運的是，在這次事件中沒有人員傷亡。ASML在火災後 表示 ，會花幾天的時間進行調查，並會做全面的評估。該工廠原屬於光學模組公司Berliner Glas，在2020年被ASML收購，負責為ASML的光刻系統製造組件，包括晶圓台和夾具、光罩卡盤和反射鏡塊。

近日，ASML對德國柏林工廠的情況進行了初步評估，且 更新 了相關信息。火災發生在工廠其中一棟生產大樓內，煙霧影響了臨近的大樓，目前在部分區域已恢復了生產。廠區內其他建築物沒有受到影響，仍然可以正常使用。ASML還介紹了對光刻機生產的影響，包括DUV（深紫外線光科技術）和EUV系統。

目前DUV光刻機的相關組件已重新啟動生產，儘管供應上出現暫時的中斷，但ASML希望可以盡最大的努力補救，以免影響DUV光刻機的生產和營收。至於EUV光刻機，火災影響了EUV系統中一個模塊晶圓夾具的部分生產區域，正按計劃恢復中，並確認如何將EUV客户的影響降到最低，包括供應計劃和相關服務等。

ASML表示，2022年1月19日會公佈2021年第四季度和全年業績，以及對2022年的初步展望，屆時會進一步提供柏林工廠火災事件的信息。