在今年1月份，一台光刻膠顯影設備飛越大西洋運抵工廠，完成了英特爾Fab 34晶圓廠的首台設備的安裝工作，未來將與EUV掃描儀一起運行。上週，英特爾位於愛爾蘭的Fab 34晶圓廠完成了第一台EUV光刻機的安裝，這是歐洲首個具備EUV工藝的晶圓廠。

據瞭解，這台EUV光刻機由ASML製造，先運到了英特爾位於美國俄亥俄州的基地，然後再運往歐洲。不清楚為什麼英特爾沒有選擇直接運到愛爾蘭，或許是要測試這台EUV光刻機，確保符合要求後再運往新工廠。在英特爾公佈的 視頻 中，大約有100多名ASML工程師到了Fab 34晶圓廠協助安裝，同時英特爾從美國派來了工程師，負責培訓Fab 34晶圓廠的員工如何使用EUV光刻機。

英特爾沒有公佈這台EUV光刻機的型號，不過以英特爾的財力和對未來的規劃，相信會是最新的型號之一。英特爾向ASML訂購了多台EUV光刻機，這是其第一台，英特爾稱之為“Intel 4工藝技術的關鍵推動者”。ASML的這台EUV光刻機需要四架運輸機運送，然後再由35輛貨車運輸，才能送抵Fab 34晶圓廠。英特爾自去年12月起，就分批發送這台EUV光刻機，花了幾個月的時間才完成運送。

Fab 34晶圓廠是在2019年開始動工，計劃2023年正式投產。英特爾曾表示，愛爾蘭晶圓廠是其全球晶圓廠擴建計劃的一部分，為了滿足全球迅速增長的芯片需求，同時也為英特爾的Intel 4工藝量產鋪路，未來將用於生產Meteor Lake和Granite Rapids等芯片。