在本週的技術研討會上,台積電對他們在製程和封裝工藝等技術的最新進展做出講解,公佈了5nm製程工藝和3nm製程工藝的一些消息。根據台積電公佈的消息,台積電的N5工藝使用了第二代DUV+EUV光刻技術,是N7之後的一個完整節點,相比起N7,它在同性能下能夠節省30%的能耗,在同能耗下能夠實現15%的性能提升,邏輯電路密度是N7的1.8倍。
除了新制程的一些消息之外,台積電在技術研討會上還展示了一頁非常有意思的PPT。台積電展示的PPT顯示,這家公司擁有着世界上約一半的正在服役的EUV光刻機產品。與之相對應的是,台積電承包了全球所有EUV晶圓產能的60%。目前,台積電正在大批量投入產線的EUV光刻只有兩個節點,分別是7nm節點以及5nm節點。

目前,一些公開了自己EUV工藝的大型晶圓廠包括有台積電、三星以及英特爾。台積電公司就如上文所述,集中應用在7nm工藝以及5nm工藝兩個節點,而三星就是應用在7LPP工藝上,英特爾的話努力在明年使得自己的EUV工藝進入產線吧。
至於EUV光刻機的話,目前仍然是隻有ASML公司供應。截止到2020年第二季度,ASML已經發貨的EUV光刻機預計接近71台。所以,根據台積電公佈的數據,這家公司應該擁有30-35台EUV光刻機。
而關於台積電5nm製程工藝上,今年主要服務的對象應該是華為海思和蘋果兩家公司,產品主要就是麒麟9000處理器以及A14處理器。另外就是,台積電還公佈了基於N5的基礎的N5P工藝,將提升5%的同功耗性能或減少10%的同性能功耗。