SK海力士在2020年，以400億韓元（約合人民幣2.22億元）收購了錦湖石油化學的電子材料業務部門。據The Elec 報道 ，近期其開發的厚氟化氪（KrF）光致抗蝕劑（PR）已經通過了SK海力士的質量檢驗。

三星使用的是Dongjin semhem的產品，與SK海力士的KrF PR相似，厚度大概14至15微米。SK海力士將核心材料交由子公司開發，使得旗下存儲器在市場相比競爭對手更具競爭力。隨着明年存儲器市場逐漸恢復正常，SK海力士的KrF PR銷售額也將隨之增長。日本的JSR也在開發了自己的PR，厚度為10微米。

在NAND閃存的生產中，需要更“厚”的PR，因為更適合堆疊，比如100層的NAND芯片生產中，一層層製作成本會變得更高，而更厚的PR能讓存儲器製造商一次製造多個層。不過更厚的PR粘稠度更高，這會對均勻性產生負面影響，因此開發上更具有挑戰性。

目前SK海力士的計劃是將KrF PR用於238層NAND閃存芯片的生產，同時將JSR作為次要供應商，兩種產品都會使用。目前SK海力士每月生產約5000片238層NAND閃存的晶圓，隨着KrF PR的引入，預計產量將大幅度攀升。此外，SK海力士還在推動其他半導體生產所需關鍵材料的國產化工作。