三星在今年的SAFE 2025活動上展示了第三代2nm工藝,稱為“SF2P+”,打算兩年內推出。三星預計業界對2nm製程節點的需求會延續很長時間,為此不惜將1.4nm工藝的量產時間延後至2029年,通過優化2nm工藝的性能和能耗表現,提高良品率,使其更適合業界使用。

據Wccftech 報道 ,Exynos 2600將是三星首款採用了SF2(2nm)工藝的SoC,三星希望可以儘可能減少虧損,提高良品率,以便在今年晚些時候開始大規模生產,向業界證明自己的實力。更了更好地實現目標,三星希望引入更多High-NA EUV光刻機,以便日後添加到生產中。雖然這些生產設備並不便宜,但是會帶給三星一些必要的優勢。
三星於今年3月在其華城園區 引入 了首台ASML製造的High-NA EUV光刻機,型號為“TWINSCAN EXE:5000”,主要用於技術研發。三星也成為了英特爾(2023年末)和台積電(2024年第三季度)之後,第三家安裝High-NA EUV光刻機的半導體製造商。
High-NA EUV光刻機是具有高數值孔徑和每小時生產超過200片晶圓的極紫外光大批量生產系統,用於製造3nm以下的芯片。其提供了0.55數值孔徑,與此前配備0.33數值孔徑透鏡的EUV系統相比,精度會有所提高,可以實現更高分辨率的圖案化,以實現更小的晶體管特徵。
三星原計劃是在1.4nm工藝引入High-NA EUV光刻技術,如果提前至2nm工藝中加入,或許能幫助三星實現更高的良品率,併為未來的1.4nm工藝提前做好準備。不過目前ASML每年只能生產五到六台High-NA EUV光刻機,三星也不能隨心所欲地訂購。