中媒︰華為提交 2nm 專利申請 只需 DUV 光刻機就能達成 2nm 製程

【華為再次遙遙領先 ... ㊙️】中國媒體報導,原來華為早於 2021 年已提交 2nm 製程的國產專利申請,聲稱可在沒有 EUV 技術下,僅以 DUV 光刻機結合 SAQP(自對準四重圖案化),將晶片閘極距縮至 21nm 以下,可實現 2nm 製程晶片。在 DUV 技術上,華為可說是遙遙領先。